光刻机是什么(光刻机就是制造小电路嘛)

光刻机是制造超大规模集成电路的机器。

光刻机（Mask Aligner) 又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自动、全自动。按光源区分有euv和duv光刻机，euv更为先进。